一种具有导热件的热蒸发坩埚组件
| 技术项目名称： | 一种具有导热件的热蒸发坩埚组件 | ||
| 申请号/专利号： | CN201721742785.5 | ||
| 专利权人： | 深圳先进技术研究院 | ||
| 申请日： | 20171214 | ||
| 授权日： | 20180814 | ||
| 法律状态： | 有效 | ||
| 行业分类： | 泵及真空设备制造 | ||
| 意向价格（元）： | |||
| 权属人所属地域： | 中国大陆/广东/深圳市/南山区" | ||
| IPC分类： | C23C14/26 | ||
| 专利类别： | 实用新型 | ||
| 是否有PCT： | |||
| 合作方式： | 转让 | ||
| 国内专利： | |||
| 专利摘要： | 本实用新型涉及真空PVD镀膜领域，更具体地说，涉及一种具有导热件的热蒸发坩埚组件。 | ||
| 项目联系人信息： | 刘小姐 020-89160951 | 信息有效期： | 2020.09 |
粤公网安备 44010502001280号