一种可控线性蒸发装置
| 技术项目名称： | 一种可控线性蒸发装置 | ||
| 申请号/专利号： | CN201721745217.0 | ||
| 专利权人： | 深圳先进技术研究院 | ||
| 申请日： | 20171214 | ||
| 授权日： | 20180810 | ||
| 法律状态： | 有效 | ||
| 行业分类： | 泵及真空设备制造 | ||
| 意向价格（元）： | |||
| 权属人所属地域： | 中国大陆/广东/深圳市/南山区" | ||
| IPC分类： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06 | ||
| 专利类别： | 实用新型 | ||
| 是否有PCT： | |||
| 合作方式： | 转让 | ||
| 国内专利： | |||
| 专利摘要： | 本实用新型涉及蒸发镀膜技术，尤其涉及一种可控线性蒸发装置。 | ||
| 项目联系人信息： | 刘小姐 020-89160951 | 信息有效期： | 2020.09 |
粤公网安备 44010502001280号