导热结构及加热蒸发组件

技术项目名称: 导热结构及加热蒸发组件
申请号/专利号: CN201721751082.9
专利权人: 深圳先进技术研究院
申请日: 20171214
授权日: 20180824
法律状态: 有效
行业分类: 泵及真空设备制造
意向价格(元):
权属人所属地域: 中国大陆/广东/深圳市/南山区
IPC分类: C23C14/26
专利类别: 实用新型
是否有PCT:
合作方式: 转让
国内专利:
专利摘要: 本实用新型涉及镀膜设备领域,更具体地说,涉及一种导热结构及加热蒸发组件。
项目联系人信息: 刘小姐 020-89160951 信息有效期: 2020.09